經濟部為推動國內產業科技的創新研發,日前假高雄軟體科 技園區國際會議廳舉辦「98年科專成果表揚暨成果展示活動」, 其中由上銀子公司大銀微系統所獨立開發的「平面顯示器檢測定 位平台」與「次微米平面顯示器檢測定位平台」,獲得「大尺寸 液晶面板關鍵設備技術整合計畫」的最高評價,由經濟部次長黃 重球親自到場頒獎表揚。大銀公司表示,該公司開發出「平面顯示器檢測定位平台」 與「次微米平面顯示器檢測定位平台」等產品,有效降低國內 FPD產業對進口設備的依賴性,落實LCD製程設備與技術的自主性 ,對帶動台灣產業發展,提高國家產業競爭力,有很大的幫助。大銀微系統的「平面顯示器檢測定位平台」為G5至G10面板 電子束檢測設備,龍門同動驅動平台,可應用於無塵等級Class 100的面板、半導體精密量測儀器、檢測設備上,目前已接獲美 國知名面板設備廠的肯定與採用,開始出貨。另外,「次微米平面顯示器檢測定位平台」為G7至G8面板超 精密量測設備,採用非接觸式線性馬達直接驅動,可應用於無塵 等級Class100的面板、半導體精密量測儀器、檢測設備與面板、 半導體曝光設備。該產品相關技術也獲得德國知名光罩檢測設備 大廠下單訂購,同時也替大銀公司在第17屆台灣精品獎中,一舉 拿下銀質獎。
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