台灣富創得工程具有優秀的烤箱設計和溫控技術,自主研發的Oven系列(SIO-300-200),獲得世界大廠肯定,是台灣半導體設備業令人振奮的消息。其450度高溫Oven系列(SIO-300-450)、專為18吋晶圓設計的潔淨烤箱(SIO-450-200),也將成為今年半導體展最受關注的亮點。
總經理吳功表示,台灣富創得工程2008年成立,儘管時間不長,但台灣幾乎所有半導體工廠均使用該公司的產品。憑藉強大的技術能力,美國總公司1996年開發全球第一部8吋SMIF晶圓盒開關器及機器人手臂(SMIF Arm),為HP Corvallis建立全球第一條SMIF生產線。
此後,台灣富創得工程持續推出令市場驚艷的產品,以SIO-300-450為例,潔淨度達到世界最高水平,氣體消耗量只有進口機台的10%,溫控曲線也優於美日進口設備,在發展3D IC和MEMS核心技術將扮演關鍵角色。該公司亦配合台積電的450mm晶圓發展計畫開發SIO-450-200潔淨烤箱,最高溫度250度,未來將進一步投入SIO-450-450 PI Oven系統開發,朝450度高溫Oven發展。
台灣富創得工程母公司為美商Fortrend,1979 年在矽谷成立,以自動化晶圓片及光罩傳送系統馳名國際,1990年代就已享譽全球,取得晶圓片垂直傳送系統全球市占率五成。副總經理黃元裕表示,結合Fortrend 長達32年的卓越自動化及溫控技術,台灣富創得成功研發SIO-300-200(最高可達250度C)系列Oven,性能和價格皆具競爭力,數年內便主導台灣高端oven的主流市場,取代進口設備。今年更擊敗國際大廠,獲得美國最大DRAM生產商的第一張訂單,將SIO-300-200 Oven導入前段製程。
行銷部經理邱金纘表示,與母公司合作推出20奈米光罩去水系統,能有效控制光罩污垢薄膜(reticle haze)的形成,已在客戶端驗證,數據顯示出優異的效果,後續潛力無限。20奈米EUV SMIF盒的自動化系統也有部分產品通過Intel及AMAT認證,潔淨度超過業界目前認可的class-1的100倍(ISO-1)。
該公司計畫2013年再引進美國最新技術,投入1,000度高溫爐管設備生產製造,配合中國富創得的太陽能電池片自動化設備,為半導體和太陽能電池生產線,提供最佳性價比的水平擴散爐。
台灣富創得認為,台灣多數半導體設備商製程技術能力很強,若結合公司的精密自動控制技術和整合能力,可在最短時間,以最少研發成本,和客戶共同推出最優良產品,爭取市場先機。<擷錄經濟>
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